X射线光电子能谱仪（XPS）
预约须知：
1、为保证服务质量，请扫码加灯塔客服为您分配技术团队，该项目平均周期3个工作日左右，具体周期请咨询相应实验工程师。
2，样品要求：粉末样品尽量提供10mg以上，5mg以上也可以；块状/薄膜：长宽厚一般不超出5*5*3mm。
3，测试说明：小于5%的元素可能测不出明显信号！H,He元素不可以测试！
4，测试位置数量：默认是一个样品测试一个位置的，一般光斑大小为直径500um，测试深度为10nm，需要测试多个位置按照多个样品计费。
5，特殊需求：样品含S，F，I，Br等元素单质请联系科研顾问咨询。
6，测过的粉末样品没法回收，因为样品要固定在导电胶上，块体样品回收可能也受到污染或者破坏，建议尽量不回收样品！！！
7，我们默认给测试的原始数据或者普通矫正的数据（常规是用碳284.8eV校正），不分峰拟合，分峰拟合是数据处理业务。
1、为保证服务质量，请扫码加灯塔客服为您分配技术团队，该项目平均周期3个工作日左右，具体周期请咨询相应实验工程师。
2，样品要求：粉末样品尽量提供10mg以上，5mg以上也可以；块状/薄膜：长宽厚一般不超出5*5*3mm。
3，测试说明：小于5%的元素可能测不出明显信号！H,He元素不可以测试！
4，测试位置数量：默认是一个样品测试一个位置的，一般光斑大小为直径500um，测试深度为10nm，需要测试多个位置按照多个样品计费。
5，特殊需求：样品含S，F，I，Br等元素单质请联系科研顾问咨询。
6，测过的粉末样品没法回收，因为样品要固定在导电胶上，块体样品回收可能也受到污染或者破坏，建议尽量不回收样品！！！
7，我们默认给测试的原始数据或者普通矫正的数据（常规是用碳284.8eV校正），不分峰拟合，分峰拟合是数据处理业务。
仪器详情
——
- 1、仪器名称：（X射线光电子能谱仪）
- 2、仪器型号：Thermo Kalpha；Thermo ESCALAB 250XI等
- 3、仪器用途：XPS的原理是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子。可以测量光电子的能量，以光电子的动能/束缚能 binding energy,(Eb=hv光能量-Ek动能-W功函数)为横坐标，相对强度（脉冲/s）为纵坐标可做出光电子能谱图。可以测样品表面的元素成分、化学态和分子结构。即可以进行物质定性分析，物质定量分析和元素化学态分析。
测试结果示例
——
1、XPS全谱如下图所示：
2、 XPS精细谱示例如图所示：
XPS peak table数据如下图所示
常见测试问题
——
- （1）含量计算时需要把这个元素每个峰的含量都计算加在一起么？
答：不需要，只要主峰就可以了。
- （2）污染碳校正的污染碳是哪里来的？
答：是样品吸附的空气中的碳。
- （3）一般用C进行校正，但是这个峰位会移动很多么？
答：一般偏移1eV已经差不多了，如果偏移很大，肯定是有问题的。
- （4）某些价态扫不出来？
答：不会，150eV的全谱，能量很高了，要么就是污染碳很高，要么就是含量很少。
- （5）含量多少以下检测不出来？
答：1%以下肯定测不出来。如果低于1%也测出来了一个小峰包，但按严格来说，是不准确的。
- （6）每种元素的检测限一样么？
答：不一样。每种元素的主峰的灵敏度因子都不一样。
- （7）怎么判断拟合是好是坏，是拟合了两个峰算好还是拟合了三个峰算好？
答：看波动大小，越小越好；还要看对应的物理意义。波动如下图所示：
- （8）扫出来的峰的毛刺太多？
答：因为含量太少。
- （9）四氧化三铁样品测三价铁和四价铁和氧，需要测俄歇吗？还是普通xps就可以？
答：具体还是需要客户参考文献。如果文献不需要俄歇峰就可以判断出来三价和四价，就不需要，如果文献需要，那么就需要。
- （10）对于C窄谱要不要测？C窄谱对数据直接的影响是什么？
答：可以不测，但是都用校正，也可以用O的531.1eV，或者金的零价标准峰。
（11）样品氧化，客户想知道氧化厚度，除了xps刻蚀不同深度，来逐步筛选判断，还有其他方法吗？
答：暂时所知是用刻蚀是比较好的方法。
（12）有些客户不用测C，但是在peak table 里加了C元素。他能否直接C的百分扣除，直接去重新计算其他元素的百分比？还是需要复测或者用测试老师这里的机器去导出数据，重新处理？
答：可以直接去除的，不需要复测，或者重新导出也可以。
- （13）每种元素的检测限一样么？
答：不一样。每种元素的主峰的灵敏度因子都不一样。
